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少子壽命測試

設(shè)備:外延片少子壽命測試儀WT-2000 Wafer Test System

廠商:匈牙利 SEMILAB

用途:1.厚外延少子壽命測試2.SiC電阻率測試

技術(shù)指標(biāo):少子壽命測試要求外延厚度>30um;規(guī)則樣品寬度>10mm                    可以點測或連續(xù)面測


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